クリーンルームなしで1個からのデバイス製造も可能にする「ミニマルファブ」

産総研LINK No11
https://www.aist.go.jp/digbook/aist_link/no_11/html5.html#page=3

原史朗 HARA Shiro
クンプアン ソマワン Khumpuang Sommawan


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